点击图片查看原图
|
电路类型 |
他激式固态射频发生器，由两只金属氧化物场效应管MOSFET管组成的推挽放大电路，全自动点火，全自动匹配调谐，计算机实时监控，全自动化自动控制。 |
工作频率 |
27.12MHz±0.05% |
|
频率稳定性 |
<0.1% |
||
|
输出功率 |
800－1600w |
||
|
输出功率稳定性 |
<0.05% |
||
|
电磁场泄漏射强度 |
距机身30cm |
||
|
电场强度E |
<1V/m |
||
|
磁场强度H |
<0.2A |
2、进样系统:
|
输出工作线圈内径 |
25mm， 3匝 |
炬管 |
三重同心石英炬管 |
|
同轴型喷雾器外径 |
6mm |
双筒形雾室外径 |
35mm |
|
氩气流量计规格和载气压力表规格 |
等离子气流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) |
||
|
辅助气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) |
|||
|
载气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) |
|||
|
载气稳压阀（0-0.6M Pa） |
|||
3、测光系统:
|
光电倍增管规格 |
R212UH |
信号采集为V/F交换 |
1mV对应100Hz |
|
光电倍增管负高压 |
200-1000V 稳定性<0.05% |
光电倍增管电流测量范围 |
10-12 -10-4A |
4、分光系统:
|
光路 |
Czerny- Turner |
焦距 |
1000mm |
|
光栅规格 |
离子刻蚀全息光栅 |
刻线密度 |
2400线/mm |
|
分辨率 |
≤0.008nm |
刻线面积 |
80×110mm |
|
波长示值误差 |
≤±0.03nm |
波长范围 |
185-900 nm |
|
透镜 |
ф30，1：1成像 |
入射狭缝 |
20µm |
|
发射镜规格 |
（78× 105 × 16）mm |
出射狭缝 |
20µm |
|
步进电机驱动小步距 |
0.0005nm |
||
|
电路类型 |
他激式固态射频发生器，由两只金属氧化物场效应管MOSFET管组成的推挽放大电路，全自动点火，全自动匹配调谐，计算机实时监控，全自动化自动控制。 |
工作频率 |
27.12MHz±0.05% |
|
频率稳定性 |
<0.1% |
||
|
输出功率 |
800－1600w |
||
|
输出功率稳定性 |
<0.05% |
||
|
电磁场泄漏射强度 |
距机身30cm |
||
|
电场强度E |
<1V/m |
||
|
磁场强度H |
<0.2A |
2、进样系统:
|
输出工作线圈内径 |
25mm， 3匝 |
炬管 |
三重同心石英炬管 |
|
同轴型喷雾器外径 |
6mm |
双筒形雾室外径 |
35mm |
|
氩气流量计规格和载气压力表规格 |
等离子气流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) |
||
|
辅助气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) |
|||
|
载气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) |
|||
|
载气稳压阀（0-0.6M Pa） |
|||
3、测光系统:
|
光电倍增管规格 |
R212UH |
信号采集为V/F交换 |
1mV对应100Hz |
|
光电倍增管负高压 |
200-1000V 稳定性<0.05% |
光电倍增管电流测量范围 |
10-12 -10-4A |
4、分光系统:
|
光路 |
Czerny- Turner |
焦距 |
1000mm |
|
光栅规格 |
离子刻蚀全息光栅 |
刻线密度 |
2400线/mm |
|
分辨率 |
≤0.008nm |
刻线面积 |
80×110mm |
|
波长示值误差 |
≤±0.03nm |
波长范围 |
185-900 nm |
|
透镜 |
ф30，1：1成像 |
入射狭缝 |
20µm |
|
发射镜规格 |
（78× 105 × 16）mm |
出射狭缝 |
20µm |
|
步进电机驱动小步距 |
0.0005nm |
||
